光学薄膜非均匀性的实时椭圆偏振测量 上传者:wyc27775 2021-04-16 22:30:29上传 PDF文件 4.88MB 热度 45次 我们在真空镀膜机上装置了一套旋转检偏器式的自动光度椭圆偏振仪,对蒸发中的薄膜进行实时偏振测量。然后从偏振参数Δ,ψ随厚度变化的轨迹中分析折射率的非均匀性情况。实验结果表明,ZnS和ZnSe都具有近100的内表面过渡层和外表面过渡层,中间则基本是均匀膜层。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论