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椭圆偏振光谱法研究Er2O3 Al2O3薄膜的光学常数

上传者: 2021-04-16 22:30:24上传 PDF文件 587.58KB 热度 12次
Er(2)O(3)-Al(2)O(3)膜在室温下通过射频磁控管技术沉积在Si(001)衬底上。 分别在O(2)环境中将样品在450、600和750摄氏度下退火30分钟。 通过光谱椭圆偏光法研究了沉积样品和退火样品的光学常数。 适当的折射率值表明它可能是太阳能电池的有用材料。
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