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准分子激光诱导沉积锰和钨薄膜

上传者: 2021-04-24 19:17:24上传 PDF文件 4.29MB 热度 11次
用波长为308 nm XeCl准分子激光辐射光解羰基锰二聚物Mn2(CO)10和羰基钨W(CO)。沉积锰和钨薄膜,研究了实验参量与薄膜特性之间的关系。
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