多狭缝金属 介质 金属结构等离子体可见光分束器

提出了金属-介质-金属(MIM)结构三缝、四缝波导结构的增强型可见光分束器。利用表面等离子体效应及经典光学干涉原理,改变多缝波导结构中的填充介质、结构厚度、狭缝宽度及缝宽度等参数,可使波长不同的两束可见光通过多缝亚波长结构后实现分束效果。利用时域有限差分(FDTD)法进行数值模拟,发现多狭缝结构比双缝结构有更高的分束比。上述设计结构可以通过电子束刻蚀系统等实验设备加工,可应用于集成光学及光通信领域。