SiO2 TiO2 TiNxOy Cu结构的高性能选择性太阳能吸收剂的设计

以TiNxOy薄膜为吸收层,设计了一种结构为SiO2-TiO2-TiNxOy-Cu的光谱选择性太阳吸收剂(SSA)。 并通过计算和实验对SSA性能进行了评估。 TiNxOy层是通过用Ar和N2气体对纯TiN靶进行RF磁控溅射而制成的。 通过使用沉积室中的残余氧气,将氧气引入TiNxOy。 已经发现,N 2流量对TiN x O y薄膜的复折射率具有很大的影响,因此可以通过控制N 2流量来优化SSA性能。 在以2 sccm的N2流量沉积TiNxOy吸收层的情况下,SSA在等于或大于5的太阳辐射聚集因子下实现了最高的太阳热转换效率。基于以N2流量沉积的TiNxOy层的SSA速率为2 sccm时,在400°C温度下的太阳吸收率为96.29%,热发射率为6.11%。