用准对称波导法测量薄膜参数

Name: 用准对称波导法测量薄膜参数
Rating: 4.5 (31 reviews)
Author: haihua92995

上传者：haihua92995 2021-04-21 01:18:12上传 PDF文件 3.27MB 热度 31次

本文指出了在棱镜耦合状态下降低平板波导基模截止厚度的途径,用文中提出的准对称波导法测量了薄的MgO膜的折射率和厚度,并给出了测量结果.

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