偏振光反射法测量薄膜参数

根据偏振光反射原理和多角度测量的多点拟合算法,研究了薄膜材料的厚度、实际测量中的噪声、特殊入射角三个因素对薄膜参数测量精度的影响。对SiO2薄膜样品进行数值模拟分析,结果表明,薄膜厚度大于150 nm时的反演误差较小,50 nm以下的薄膜反演误差较大;噪声越小测量精度越高;SiO2薄膜存在特殊的入射角,该角选为初始入射角将出现较大误差甚至错误,测量时应避开。若初始入射角的选取偏离特殊角±2°,即可消除特殊点所带来的影响。