高功率激光反射镜变形的半导体致冷补偿的研究
激光谐振腔中的反射镜在激光作用下其镜面产生变形,使反射镜面偏离原设计要求。实验表明,半导体致冷铜镜和硅镜可以很好地补偿激光热变形,使反射镜在承受激光功率的时候,其镜面面型保持不变。此外,半导体致冷镜还有无压力变形、致冷量可控、致冷均匀等优点。
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