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非球面反射镜的弹性变形加工

上传者: 2021-04-18 01:31:41上传 PDF文件 4.77MB 热度 12次
本文研究了利用弹性变形加工离轴抛物面的方法,并给出了一个特定的离轴抛物面的实验结果。镜面最大误差<1/4λ,均方根误差为0.O67λ,λ=0.6328μm。
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