双压电片变形反射镜样镜的设计与研制

双压电片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低及制造周期短的优点, 能代替传统分立式变形镜从而降低自适应光学系统的成本。为验证工艺的可行性和了解双压电片变形反射镜的性能, 制造了一块20单元的试验样镜。样镜采用了双层压电陶瓷的结构, 其中一层作整体离焦电极以校正大幅值的离焦像差。利用Veeco干涉仪测量了样镜单元电极影响函数, 分析了其对前36项Zernike像差的校正能力。结果表明, 样镜对离焦像差能获得高达8 μm以上的校正量, 对其它高阶像差也能适量校正, 但校正能力随空间频率升高而降低, 显示出其适合校正低阶像差的特性。此外, 讨论了不同有效孔径下样镜对Zernike像