大口径凸非球面反射镜检测补偿器的误差标定

大口径凸非球面反射镜的检测是非球面检测中的难题,而零位补偿检测方法是精确检测大口径凸非球面反射镜的有效检测方法之一,但是随着补偿器口径的增大,在补偿器的加工和装调中难免引入误差。文章针对与球面偏差不大的凸非球面反射镜补偿检测,提出了一种用标准球面在线标定补偿器误差的方法,并对一凸非球面补偿检测中的误差进行了标定,使用标定后的补偿器对该凸非球面反射镜进行了补偿检测,并对标定误差进行了分析,标定前补偿器误差方均根值(RMS)为0.097 λ(波长λ=632.8 nm),标定后综合检测误差RMS值小于0.0046 λ,满足该凸非球面反射镜设计精度要求。