不同溅射功率下Cu / Si接触系统的非晶Zr @?Si扩散阻挡层

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不同溅射功率下Cu Si接触系统的非晶Zr Si扩散阻挡层

不同溅射功率下Cu / Si接触系统的非晶Zr @?Si扩散阻挡层

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