308 nm准分子激光对C

Name: 308 nm准分子激光对C
Rating: 4.5 (48 reviews)
Author: lingxiao29430

上传者：lingxiao29430 2021-04-07 00:22:15上传 PDF文件 1.13MB 热度 48次

测量在空气和真空中308 nm准分子激光对C60薄膜的刻蚀速率和刻蚀阈值,讨论了环境中氧气对刻蚀特性的影响。

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308nm准分子激光对C

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