用于紫外光感测的高性能双波模式柔性表面声波谐振器

制备了基于双模柔性ZnO /聚酰亚胺表面声波(SAW)的紫外(UV)光传感器,并研究了它们的性能。 紫外光传感测量表明,传感器的双波模式响应随光强度的增加而增加,频率随光强度的变化而线性变化。 在4.5 mW cm(-2)的紫外线照射下,瑞利波的共振频率降低到接近43 kHz,而兰姆波的共振频率约为76 kHz。 两种共振模式的紫外线敏感度分别为111.3和55.8 ppm(mW cm(-2))(-1)。 两种共振模式的共振频率,相位角和振幅在响应于紫外线的周期性变化时表现出良好的可重复性,并且在长时间暴露于紫外线下表现出优异的稳定性。 因此,双模柔性SAW谐振器结构简单,检测更准确并且可以低成本制造,因此在柔性传感器和电子产品中的应用非常有前途。