用于柔性无线电子设备的柔性结构化高频薄膜体声谐振器

近年来,柔性电子技术启发了许多新颖且非常重要的应用,并且已经报道了各种柔性电子设备,例如二极管,晶体管,电路,传感器以及包括天线和电感器的射频(RF)无源设备。 但是,缺少高性能RF谐振器是实现灵活的无线电子设备的关键瓶颈之一。 在这项研究中,首次提出了一种新型的超柔结构膜体声波谐振器(FBAR)。 柔性FBAR使用压电薄膜氮化铝(AlN)进行声波激发而制造在柔性聚酰亚胺基板上。 在我们提出的表面叉指式电极配置下,剪切波和纵波都可以被激发。 在厚度扩展模式的情况下,已经实现了具有高达5.2325 GHz的工作频率的柔性谐振器。 谐振器在弯曲状态下以及反复弯曲和重新展平操作后仍可保持全部功能。 这种柔性高频谐振器将成为未来柔性无线电子设备的关键组成部分,从而极大地扩展了柔性电子设备的应用范围。