1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计

两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计

上传者: 2021-04-04 14:50:10上传 PDF文件 1.06MB 热度 9次
介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好,传输效率高,输出光束截面尺寸连续可调,而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径,是准分子激光进行微机械、微光学、微电子等微细加工的优良照明系统。
下载地址
用户评论