准分子激光微透镜整形均束装置

报道了248 nm 准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果。实际采集并拍摄了248 nm 准分子激光光能量分布的彩色图像,使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算,通过光学软件ZEMAX 模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源。通过分析空间光能量分布特征,设计并加工出一套适用于248 nm 准分子激光的微透镜整形均束装置,且理论模拟和实际测试结果相吻合。248 nm 准分子激光通过该光学系统整形均束后,可以在工作平面上得到一个约18 mm×18 mm 的正方形光斑,光斑的能量均匀度误差(加工窗)在±2% 以内,平顶因子为0.90,光能量通过率为85%左右,解决了248 nm 准