微结构甲烷气体传感器研制

针对“珠球状”催化气体传感器存在分散性大、难以批量制造等技术问题,采用铂薄膜工艺技术,结合激光微加工和离子束干法刻蚀技术,实现催化传感器微结构体积及加热电极制造; 利用化学共沉淀方法制备γ-Al2O3 /SnO2活性载体,采用掺杂技术对活性载体进行ThO2 + CeO2稳定化修饰,选择Pd 和Pt 元素作为催化剂,制作出具有微结构特点的催化甲烷传感器。测试结果表明: 传感器对甲烷气体具有快响应特点, 90 %响应时间为10 s,恢复时间为12 s; 传感器输出平均灵敏度为17 mV/( 1 %) CH4。