薄膜微结构气体传感器研究

针对“珠球状”催化气体传感器存在分散性大,难以批量制造等技术问题,采用铂薄膜工艺,结合激光微加工和离子束干法刻蚀技术,实现催化传感器微结构体及加热电极制造;利用化学共沉淀方法制备γ-Al2O3/ZrO2活性载体,采用掺杂技术对活性载体进行ThO2稳定化修饰,选择Pd元素作为催化剂,制作出具有微结构特点的催化甲烷气体传感器。测试结果表明:传感器对甲烷气体具有快响应特点,90%响应时间为10s,恢复时间为12s;传感器输出平均灵敏度为17mv/1%CH4。