微结构气敏传感器与电子鼻研究

微结构气敏传感器与电子鼻是近年来国际上传感技术领域的研究热点。微结构气敏传感器是利用微电子、微机械加工和薄膜技术将加热测温电阻、测量电极和敏感薄膜集成一体的新一代气敏元件，具有低功耗、易集成、易智能化等优点。本文将有限元方法成功地应用于器件结构设计，·列化项关键工艺问题，在国内首先研制出工作温度为300℃时功耗小于75mW片型微结构气敏传感器。了多的膜