激光透射连接硅与玻璃熔池研究

使用Nd:YAG 脉冲激光器对硅与玻璃进行激光透射连接实验,研究了工艺参数(功率、速度及离焦量)对熔池几何要素(熔深、熔宽及深宽比)的单因素及交互式影响,分析了激光能量密度对激光透射连接硅与玻璃熔池成形的影响,并量化了激光能量密度与熔池几何要素之间的关系。得到了深宽比与剪切强度的匹配曲线。结果表明,当激光能量密度大于8 J/mm2时,深宽比趋于平稳,深宽比达到0.25时,其剪切强度达到最大值,激光能量密度对熔池成形及连接质量有着较为显著的作用。