基于响应曲面法的激光透射连接硅与玻璃的工艺研究

采用NdYAG脉冲激光器对硅与玻璃进行激光透射连接实验。阐述了激光透射连接硅与玻璃的连接机理。采用旋转中心复合设计进行实验规划,使用响应曲面法(RSM)建立了激光透射连接工艺参数与剪切强度、熔池宽度的数学模型,进行了方差分析、实验模型的验证,讨论了激光透射连接工艺参数对剪切强度、熔池宽度的交互影响趋势,运用满意度函数对工艺参数进行优化,并对优化结果进行验证。结果表明,所建立的模型能够较好地反映各响应与工艺参数之间的关系,优化的预测结果与验证实验的结果较为吻合,对提高连接质量和降低生产成本具有很好的指导意义。