ArF 准分子激光器线宽压缩技术
ArF 准分子激光器是实现45 nm 技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波长区193 nm 的光谱线宽压缩技术。
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