193毫微米ArF准分子激光器

Name: 193毫微米ArF准分子激光器
Rating: 4.5 (43 reviews)
Author: u12491

上传者：u12491 2021-02-08 12:47:30上传 PDF文件 3.05MB 热度 43次

本文报导改进的193毫微米ArF准分子激光器,单脉冲输出激光能量超过200毫焦耳。详细地研究了紫外光预电离对输出性能的影响。

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193毫微米ArF准分子激光器

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