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193毫微米ArF准分子激光器

上传者: 2021-02-08 12:47:30上传 PDF文件 3.05MB 热度 9次
本文报导改进的193毫微米ArF准分子激光器,单脉冲输出激光能量超过200毫焦耳。详细地研究了紫外光预电离对输出性能的影响。
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