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通过将掺B的SiGe / Si超晶格掺入Si衬底来减少离子切割的临界H注入剂量

上传者: 2021-03-26 20:40:35上传 PDF文件 1.74MB 热度 4次
通过将掺B的SiGe / Si超晶格掺入Si衬底来减少离子切割的临界H注入剂量
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