硅光子阵列波导光栅器件研究进展

硅光子阵列波导光栅(AWG)是实现硅基光子集成的重要器件。根据不同器件结构和材料介绍了该器件的研究进展。器件结构主要包括常规对称型、反射型、级联型和多模干涉仪(MMI)输入型。与常规对称型阵列波导光栅相比, 反射型阵列波导光栅使器件尺寸更小; 级联阵列波导光栅通道串扰性能更优越; MMI输入阵列波导光栅能获得平坦化输出光谱。硅材料具有高折射率, 因此硅纳米线阵列波导光栅弯曲半径极小, 器件更加紧凑; 氮化硅阵列波导光栅具有良好的通道串扰和偏振性能。还介绍了温度和偏振不敏感阵列波导光栅, 并对硅光子阵列波导光栅的未来发展趋势作出预测。