用于微型拉曼光谱仪分光芯片的阵列波导光栅研究进展

微型拉曼光谱仪的核心部件是分光芯片,研制出适应微型拉曼光谱仪微型化、加工精度高、成本低的新型分光芯片对于打破目前的国外技术专利封锁,获得属于我国的自主知识产权具有重要意义。将本来诞生于光通信领域的阵列波导光栅用于微型拉曼光谱仪是研究的新思路,其具有尺寸小、精度高、工艺简单、易于批量生产的优点。总结介绍了用于微型拉曼光谱仪分光芯片的阵列波导光栅在国内外的研究进展,并且作了相应的分析,提出了一定的改进方法。