温度不敏感硅基阵列波导光栅的研究

阵列波导光栅(Arrayed Waveguide Grating, AWG)由于其损耗较低、尺寸小、结构紧凑、易于与其他器件集成等优点,成为实现波分复用与解复用器系统中的关键光学器件。近年来AWG的小型化和温度不敏感设计引起了关注。本文主要研究如何设计对温度不敏感的纳米线AWG器件。首先介绍了AWG的基本工作原理和一般结构,给出了温度不敏感AWG的设计方案。通过对相关参数的分析,并结合实例对温度不敏感AWG的研究。