激光自混合微机电系统动态测试技术

激光自混合干涉测量系统具有结构简单、紧凑、易准直、造价低廉等优点, 能够取代传统干涉仪用于位移、距离、速度、振动等物理量的测量, 将其引入到微机电系统(MEMS)动态测试中, 能够发展成结构小巧、造价低廉的MEMS动态测试系统, 非常适于微机械快速振动及精确测量的要求。基于三镜腔模型, 讨论了激光自混合干涉动态测试原理; 构建了激光自混合干涉动态测试系统, 并对关键部件进行了详细分析; 对物体在不同运动形式下进行了实验研究。结果表明激光自混合干涉能够敏感物体的不同运动形式, 并支持MEMS动态测试系统。