基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术

提出了一种用于测量微机电系统(MEMS)器件瞬时速度、位移的测量系统。采用激光差动多普勒技术, 检测谐振器在平面内的振动, 测量垂直于系统测量光轴方向的振动速度。并在差动多普勒测量光路的基础上加入了CCD 监测光路, 实时观察被测器件调整过程和振动情况。通过处理电路从光学系统输出的高频信号中提取多普勒信号, 利用Labview和Matlab软件对采集的多普勒信号进行时频分析, 得到被测器件的运动参量。通过对测点的微定位, 对MEMS器件进行整平面的扫描, 得到器件振动的瞬时速度场, 为进一步对MEMS器件的高阶谱振动分析及扭转分析提供了一定的基础和必要的支持。