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微机电系统技术mems基础.rar

上传者: 2020-05-14 19:44:57上传 RAR文件 236.52MB 热度 28次
ppt为哈尔滨工业大学MEMS课件之一,需要的自取 课程主要内容: 微系统概述 微机电系统功能材料 微机械制造技术 微机械执行器 微机械传感器 微机械弱信号检测与处理 设计与软件介绍
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