镀银平面波导表面的表面等离子体激元干涉图样作为亚微米光刻工具

通过利用表面等离子体激元波(SPW)在镀银(Ag)包覆的紫外线(UV)平面波导的近表面上的干扰,已经实现了一种新的亚微米光刻工具。 波长为325 nm的激光束入射到波导纤芯中,并在波导纤芯和覆层之间的界面上遭受了一系列的全内反射。 入射光和反射光引起两束SPW沿相反方向传播,它们相互干扰并形成驻波作为亚微米光刻工具。 使用近场扫描光学显微镜(NSOM)测量波导的Ag层近表面的固定波场的强度分布,并与通过使用时差有限时域(FDTD)模拟获得的理论值相吻合。 并使用此亚微米光刻工具在自加工混合SiO(2)/ ZrO(2)溶胶凝胶膜的表面刻上了SMG,其周期为79.3 nm,与理论值80.1 nm吻