基于ITO特性的亚波长表面等离子激元波导

透明光学玻璃中的氧化铟锡(ITO)是一种高度简并的半导体,其介电常数随入射波长变化且为复数。以此作为介质层,设计了Ag-ITO-Ag波导结构,研究了其表面等离子激元(SPP)的相关特征参数及电磁波在该结构中的传输特性。具体给出了这种结构波导的场分布、SPP波长、传播距离及色散方程的表达式,讨论了其色散特性;研究了其群速度随入射波长的变化关系,讨论了介质层厚度对群速度的影响,以及相同的覆层结构(Ag)不同中心介质(ITO,air,SiO2)对群速度的影响及其慢光效应。结果表明,Ag-ITO-Ag波导结构更有利于光子器件的小型化和集成化。