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大面积表面等离子激元干涉光刻

上传者: 2020-07-17 23:24:24上传 PDF文件 368.68KB 热度 10次
大面积表面等离子激元干涉光刻,郭小伟,张志友,利用衰减全反射耦合模式激发表面等离子激元,提出一种大面积表面等离子干涉纳米光刻方法。表面等离子激元干涉可引起了电场在一定
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