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用准分子激光标刻硅片

上传者: 2021-02-26 08:55:14上传 PDF文件 651.8KB 热度 7次
加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列中新的改进型。激光标刻机的工作原理是:让一束激光通过一块模板,把模板的象聚焦在待标刻的物件上。聚焦光束的强度足以从物体表面除去部分材料,从而形成由模板所限定的图象。
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