同步辐射光刻用的极紫外光源 上传者：dream29492 2021-02-25 16:12:20上传 PDF文件 578.49KB 热度 17次 讨论以极紫外(EUV,此处分别指13.5rm或11.3nm)为基础的下一代光刻用同步辐射作为光源的可能性.要求是:50W,2%带宽和这一带宽外功率最小.研究了三种选择,第一、二种用弯铁和波荡器辐射.结果证明牛津仪器公司和其他公司的早期工作:当发射过多的带外辐射时,光源带内功率不足.第三种是用500MeV直线加速器驱动的带有超导微型波荡器的自由电子激光器(FEL).这种装置能产生带内极紫外功率超过50W,带外功率可忽略. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 dream29492 资源：449 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
