少驱动单元数的柱面变形反射镜设计和测试

对于高能激光输出波前中的低阶像差,可以使用柱面反射镜与球面反射镜组合对其中的离焦和像散进行补偿。根据悬臂梁理论设计了一种变形反射镜,并通过有限元仿真,对变形镜结构和各尺寸参数进行了优化,镜面行程达到19 μm,残差峰谷值小于1.4 μm。依据优化设计结果制作了柱面变形镜样件,使用菲索干涉仪对柱面变形镜的面型精度及压电陶瓷驱动电压与形变量的关系进行了测试。测试结果表明,通过控制压电驱动器的位移,这一结构的变形镜能够产生所需的抛物柱面,行程达到11 μm。