ArF准分子激光振荡放大系统的研究 上传者:云楼25163 2021-02-24 23:04:05上传 PDF文件 1.24MB 热度 45次 研究了ArF准分子激光振荡放大系统,中心波长193 nm。用一只闸流管作为开关元件,通过主充放电网络匹配,有效地解决了两台器件的放电抖动,振荡放大倍数达到约50倍,系统单脉冲输出能量50 mJ。光束发散角低于0.20 mrad。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论