用YAG激光制备类金刚石薄膜及其光学折射率研究

用高功率的Nd3+:YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶,形成激光等离子体雾状物质,在硅衬底上沉积形成类金刚石薄膜.用椭圆偏振光谱法测量不同衬底温度下制备的系列样品的厚度和折射率,发现随着衬底温度的升高,薄膜的厚度减小而折射率增大,这种可以控制折射率变化的薄膜,可能为光学增透增反膜的制备提供一种新方法.