CVD金刚石薄膜钻模套的制备与试验研究

以硬质合金为衬底,采用化学气相法(CVD),通过改进预处理方法和优化沉积工艺参数,在钻模套内孔表面沉积金刚石薄膜涂层。利用扫描电子显微镜、表面粗糙度测量仪、激光喇曼光谱仪和洛氏硬度计对金刚石薄膜涂层的表面形貌、质量、均匀性和涂层附着力进行检测。结果表明,钻模套内孔表面可以沉积分布均匀、质量优异的金刚石薄膜。同时也为该技术推广应用并实现产业化生产提供一定的试验依据。