准分子激光器能有效地对有机玻璃作深紫外线光刻

已证明大功率脉冲紫外光可对聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)进行光刻。用KrF准分子激光器作大功率紫外光源。深紫外光辐照所得到的蚀刻深度不但与能量有关还与功率有关。相同的曝光能量密度下,加大曝光功率密度蚀刻深度将急剧增加。这些试验结果表明大功率准分子激光器是对有机玻璃作紫外线光刻的有效光源。