准分子激光用于光刻设备

Name: 准分子激光用于光刻设备
Rating: 4.5 (31 reviews)
Author: caixukun

上传者：caixukun 2021-02-09 23:50:46上传 PDF文件 642.54KB 热度 31次

罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的一份报告中说:光刻设备利用准分子激光,可望提供X射线光刻的大部分优势,而避免其许多缺点。

下载地址

用户评论

更多下载

下载地址

立即下载

用户评论

准分子激光用于光刻设备

罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的...

大小：643KB | 2021-02-09 23:50:46
准分子激光推动集成电路光刻

87年3月于美国加州圣·克拉拉光学仪器工程师协会召开的微型光刻术中的激光会议上重要的事件是,GCA...

大小：1.25MB | 2021-02-26 08:55:17
准分子激光器

准分子激光器对于紫外区来讲目前仍仅限于稀有气体(氦、氪、氩)和稀有气体,卤化物。其中较实用的有稀有气...

大小：1.18MB | 2021-02-08 12:47:51
准分子激光器首次用于混频

保加利亚索非亚大学的研究人员,把氯化氙激光器和锁模Nd:YAG激光器发射的脉冲在磷酸二氢钾晶体中混合...

大小：660KB | 2021-02-22 01:24:13
用准分子激光使自显影光刻胶曝光

半导体工程师寻找有用的自显影光刻胶已有多年。这种光刻胶可用于半导体加工过程中很少几个阶段,可能节约生...

大小：645KB | 2021-02-09 12:12:42
准分子激光技术发展

介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展...

大小：7.45MB | 2021-02-23 12:32:47
准分子激光器现况

“准分子激光器”这个术语,并不是表示单一的器件,而是表征一组具有相似输出特性的器件。这些激光器都能在...

大小：3.67MB | 2021-02-10 04:36:04
准分子激光角膜手术研究

叙述了角膜手术对激光特性的要求,对准分子激光放切术(RK)和准分子激光消融术(PRK)进行了实验研究...

大小：1.95MB | 2021-02-27 03:26:04
准分子激光器续

金属蒸汽-稀有气体准分子体系之所以如此引人入胜,和它的许多属性有关。除了它们具有作为高功率激光器合适...

大小：5.64MB | 2021-02-23 19:43:23
氩准分子激光器

半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等,对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要...

大小：1.73MB | 2021-02-10 04:36:04
光波导端面的准分子激光刻蚀技术研究

面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置...

大小：2.39MB | 2021-04-07 00:22:10
铀金属准分子激光器

美国陆军导弹司令部研究了核泵浦激光器的可行性,该激光器不用高压电源技术就能产生高功率可见光。它把U-...

大小：1.24MB | 2021-02-25 02:49:25
用准分子激光标刻硅片

加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列...

大小：652KB | 2021-02-26 08:55:14
以准分子激光生产微型芯片

以准分子激光生产微型芯片

大小：1.4MB | 2021-02-19 22:38:49
苏联的准分子激光器

苏联人描述了在紫外区输出的三种气体放电激光器:XeF、ΧeCl和KeF。并说,他们首先观察到的是30...

大小：1.11MB | 2021-02-23 15:11:38
KrF准分子激光泵浦H

利用KrF激光泵浦高压H_2,产生受激喇曼散射(SBS),得到时间宽被压缩的Stokes光和Anti...

大小：3.48MB | 2021-03-20 02:25:44