共振隧穿二极管近红外探测器的电流抑制方法研究

针对共振隧穿二极管近红外探测器焦平面阵列本征电流较大的问题,提出了一种通过对共振隧穿二极管近红外探测器双势垒结构(DBS)进行p 型掺杂来抑制电流的方法,并用有限元软件对探测器进行了模拟。研究了单势垒p 型掺杂、双势垒p 型掺杂、双势垒结构p 型掺杂及p 型掺杂浓度对探测器本征电流抑制效果的影响。模拟结果显示,对双势垒结构进行p 型掺杂后,探测器的隧穿峰值电流比非掺杂的双势垒结构的探测器的隧穿峰值电流小将近3个数量级。随着双势垒结构p 型掺杂浓度的增加,器件本征电流会相应地减小。对器件进行了制备以及测试,结果表明,将双势垒结构进行p 型掺杂,对探测器的本征电流有明显的抑制作用。