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用光纤连结的激光干涉测长机

上传者: 2021-02-23 17:47:22上传 PDF文件 620.51KB 热度 7次
东京精密和工业技术院计量研究所研制成用光纤连结干涉仪和激光光源的激光干涉测长机,其特征是根本无需麻烦的对准(光轴调整)。
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