用光纤传输高功率激光

研究了用低损耗光纤传输高功率激光束(Nd:YAG, λ=1.06徼米)的特性。指出了低损耗塑料包层石英玻璃芯纤维能够传输甚至象160瓦连续激光和120千瓦(峰值)脉冲激光这样的高功率而不会发生任何损伤。至于用光纤传输这种高功率激光的应用,用传输的激光辐照硅衬底巳经实现半导体硅处理。发现处理的硅表面是均匀的,处理的斑点具有清晰的边缘。