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一种改进的激光反馈干涉测振系统

上传者: 2021-02-10 04:00:39上传 PDF文件 1.77MB 热度 6次
通过引入匹配透镜而改进了激光反馈干涉测振系统,使系统能够测量具有粗糙表面的样品以及线度小至微米级的样品。还大大放宽了样品的对准容差约一个量级。
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