1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. 表面粗糙度的变波矢光散射测量方法的研究

表面粗糙度的变波矢光散射测量方法的研究

上传者: 2021-02-23 15:12:53上传 PDF文件 477.87KB 热度 8次
提出了表面粗糙度变波矢光散射测量方法, 通过散射光强中心亮点光能量的对数ln Eδ随k2⊥变化的线性关系来确定粗糙度w, 对6块粗糙度不同的硅片背面样品进行了实验测量。
下载地址
用户评论