表面粗糙度的变波矢光散射测量方法的研究
提出了表面粗糙度变波矢光散射测量方法, 通过散射光强中心亮点光能量的对数ln Eδ随k2⊥变化的线性关系来确定粗糙度w, 对6块粗糙度不同的硅片背面样品进行了实验测量。
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