内表面粗糙度测量仪

介绍了一种基于光散射原理的便携式内表面粗糙度测量仪.它利用半导体激光器为光源,利用光电二极管阵列接收经粗糙表面调制的散射光带,通过测量该散射光的光学特征值,得出粗糙度参数.仪器的测量范围Ra为0.005-1.6μm,测量相误差δ<5%,重复测量不稳定性小于+_2%.可以对多种机械加工零件的内外表面进行非接触在线检测.