超外差超光滑表面粗糙度的测量

Name: 超外差超光滑表面粗糙度的测量
Rating: 4.5 (55 reviews)
Author: eminent_liu

上传者：eminent_liu 2021-02-23 00:04:51上传 PDF文件 1.4MB 热度 55次

本文用纵向塞曼双频稳频He-Ne激光器作光源,采用光学超外差技术与相位高精度测量相结合.测量超光滑光学表面粗糙度,测量灵敏度为0.1nm量级.实验结果与理论分析相符合,且与其他测量方法进行了比较.

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超外差超光滑表面粗糙度的测量

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