可调支撑力对光学元件面形的影响

可调支撑装置是高精度光学元件的常用支撑结构。分析了可调支撑装置支撑力调节对光学元件面形的影响规律。建立可调支撑装置的力学模型,利用有限元法计算光学元件的变形,并对光学元件面形进行Zernike 多项式拟合。不同工况下分析结果表明:均匀支撑时光学元件面形均方根(RMS)最小,可调支撑力变化时,引入的光学元件面形RMS 以及主要Zernike 多项式系数均与支撑力线性相关,与光学元件的初始支撑状态无关。建立FringeZernike 系数随任意支撑力变化的敏感度矩阵,采用该矩阵预测随机工况下光学元件支撑力调整后面形,预测调节面形与有限元仿真调节面形基本一致,RMS 误差优于0.3%,为可调支撑装置